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特气系统（可燃性、自燃性、毒性、氧化性、侵蚀性特种气体）压力试验完成后
，应举行氦检漏试验
，并按要求做好纪录。试验完成后
，应提交测试报告。同时
，特种气系一切还需要做particle（颗粒度）、水分（Moisture）、氧分等的测试。

三项检测：

颗粒度测试
，其气体流量应凭证管道直径确定
，测试气源的颗粒数应在划定颗粒粒径状态为零。测试气体中大于0.1μm~0.3μm的颗粒数应小于或即是35颗粒

/m?
，一连三次达标为及格。

水分测试
，气体速率应低于设计流速的10%
，且小于3m/s,测试气源的水分应小于1ppbv
，水分增量应小于20ppbv
，测试竣事后
，应至少坚持20min稳固在划定值以下为及格。

特种气系一切氧分测试
，气体速率低于设计流速的10%
，且小于3m/s
，试气源的氧分应小于1ppbv
，氧分增量应小于20ppbv
，测试竣事后
，应至少坚持20min稳固在划定值以下为及格。

三项检测完成后
，需要提交测试报告
，且需要用标准名堂
，详见附件：

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