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阀门分派箱（VMB）多用于特种气体的运送中。在半导体、光伏太阳能、IC芯片等生产领域，VMB普遍的应用于诸如磷烷、硼烷、硅烷、硫化氢、硫化氢、乙烯等易燃易爆、毒腐性气体的分派当中。近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等工业的迅速生长，电子气体市场需求量显着增添，电子特种气体的国产化已是时势所趋。据相识，我国在国产化方面取得可喜希望：国产高纯氨改变了外洋气体公司垄断市场的名堂，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告竣事，高纯氯化氢已乐成翻开海内市场。以是，阀门分派系统的应用会越来越普遍。

设计参考：

特气VMB应设计进气管路隔离阀及压力指示装置；气体之路应设有自力的压力控制调理阀、过滤器、过流开关；气体的支路应设有自力的出口隔离阀；气体分支路应设置自力的吹扫气体装置、辅助抽真空装置等。

惰性气体方面，应设置进气管路隔离阀及压力指示装置；气体之路应设有自力的压力控制调理阀、过滤器；气体支路应设有自力出口隔离阀门。

电子气体，尤其是带有危险性的特殊气体，是生长集成电路、光电子、微电子，特殊是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体质料制造历程中不可缺氨赡基础性支持源质料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和清洁度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定手艺指标和制品率，并从基础上制约着电路和器件的准确性和准确性。VMB的引入是特气一对多，点扑面分支的焦点单位。不但包管了多点用气，也最大限度的包管了用气清静。

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